1、低溫等離子光氧催化在VOCs廢氣處理設備
【廢氣處理工藝流程圖】
低溫等離子體技術處理污染物的原理為在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發;然后引發一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。低溫等離子體技術對大氣量、低濃度的污染氣體有較高的處理效率，是性價比非常高的有效處理技術。該方法具有效率高、成本低、設備適應性強、占地面積小、便于操作控制、開停方便、與噴漆工藝同步、可根據污染物源強和排放要求進行升級等優點。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
單一等離子體處理有機廢氣效率較高且副產物較少，不會造成二次污染，但其較高的能耗和較低的能量效率是目前需要攻克的難題，等離子復合光催化可以彌補其缺點。等離子體催化劑選用TiO2，其為寬禁帶(Eg=3.2eV)半導體化合物，只有波長較短的太陽光才能被吸收，激發其活性，所以設計反應裝置的時候需要添加紫外光源。
2、光氧催化降解技術
納米TiO2光氧催化降解具有納米半導體粒子的量子尺寸效應使其導帶和價帶能級變為三能級，能隙變寬，導帶變負，而價帶寬變得更正，即在光觸媒催化作用下具有很強的氧化還原能力，從而提高了其光觸媒催化活性。
波長較短的紫外線其光子能量較強，當環境中的紫外光能量等級比大多數廢氣物質的分子結合能強時，可將污染物分子鍵裂解為呈游離狀態的離子，且波長在200nm以下的短波長紫外線能分解O2分子，生成臭氧O3（經過大量的實驗驗證，選用波長185nm）。呈游離狀態的污染物離子極易與O3產生氧化反應，生成簡單、低害或無害的物質，如 CO2、H2O 等，以達到廢氣凈化處理的目的。用紫外光解方式獲得的臭氧，因獲得復合離子光子的能量后，能極為迅速地分解，分解后產生氧化性更強的自由基O、OH和H2O。自由基O、OH 和H2O與惡臭氣體發生一系列協同、連鎖反應，惡臭氣體被氧化降解為低分子物質、CO2和H2O，而達到臭目的。研究過程中，進一步發現當惡臭氣體的相對分子質量越大時，紫外光解氧化效果就越明顯。在特種能量等級的紫外線作用下，大多數化學物質都能得到高效分解。
3、低溫等離子體凈化技術
低溫等離子體高能態的粒子構成低溫等離子體高能態的粒子構成。低溫等離子體降解VOCs原理在外電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊VOCs分子，使其電離解離和激發、引發系列復雜的物理化學反應，使復雜的大相對分子質量的有機廢氣降解為簡單的小相對分子質量物質，或是有毒有害物質轉化為無毒無害或低害的物質，從而使VOCs降解去除。攜能電子的平均能量約10eV，適當控制反應條件可實現一般難以實現或速度很快的化學反應。
4、光離復合VOCs處理方法的優劣
低溫等離子體光催化協同技術具有其他凈化技術的優點，低溫等離子體法處理VOCs的技術與傳統方法相比具有很多優點：一是，可在常溫常壓下操作;二是，有機化合物的產物為 CO2，CO，H2O。若有機物是氯代物，則產物中還應加上氯化物，而無中間產物降低了，有機物的毒性，同時避免了其他方法中的后期處理問題;三是，運行費用低;四是;VOCs的去除率高，對VOCs的適應性運行管理比較方便。
針對工業上氣量大，濃度低，且污染物大都無回收價值的制造行業有機廢氣VOCs，需要有一種更有效、徹底、操作更簡便的處理方法，大限度地減少運行條件的限制，低溫等離子體法的出現正是為了順應這種要求，并越來越受到國內外的重視。隨著研究的不斷深入，低溫等離子體光催化法必將向著規模化方向發展。
［廢氣處理設備］
綜上所述，隨著新材料和新技術的逐步應用，新型治理技術將更加成熟，但其投入一般較高，在中小企業較多中受到限制。因此，高效率、低成本、低能耗的治理技術是下階段發展的重點。目前我公司已經有相關的技術專利，也進入批量生產。
